MEMS氣體傳感器

MEMS氣體傳感器(SMD封裝)
采用MEMS工藝,結構簡單,利用半導體材料的氣敏特性對環境中的特定氣體進行檢測;具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩定性好、壽命長等特點。月產能≥100K。
微型化
體積小:巨大應用領域
成本低:適于大批量應用
功耗低:物聯網應用的關鍵要素
多功能化
同質傳感器:陣列化傳感器
不同傳感器:多個參數同時探測
惡劣環境探測求
集成化
傳感器與電路集成:信號探測、邏輯判斷、功能計算、雙向通訊,以及內部自檢、自校、自補償、自診斷等功能
傳感器與微型電源集成:獨立工作,可移動性



